Propriétés mécaniques des couches minces par nanoindentation
Comment caractériser le comportement mécanique d’un matériau massif ou revêtu ? L’indentation instrumentée permet de répondre à cette question en étudiant une large gamme de propriétés mécaniques du matériau aux échelles nano, micro et macrométriques. Toutefois, son utilisation demande de la rigueur pour l’obtention de données fiables.
Figure 1 : (a) Section schématique d’une indentation conique (b) Courbe charge-déplacement et profondeurs utilisées pour calculer différents nombres de dureté.
Figure 2 : Dureté (a) et module d’élasticité (b) d’un film mince TiHfCN de 2,6 µm d’épaisseur.
Figure 2 : Dureté (a) et module d’élasticité (b) d’un film mince TiHfCN de 2,6 µm d’épaisseur.
Figure 3 : Schéma du montage indenteur/système de mesure sous le faisceau d’électrons d’un microscope électronique à balayage.
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