La rétrodiffusion des ions de faible énergie appliquée à l’analyse de surface des matériaux

La technique de rétrodiffusion des ions de faible énergie (LEIS) est une méthode d’analyse élémentaire de « l’extrême surface ». Les premières études datent des années 70. Cette technique présente aujourd’hui de nombreuses applications pour la caractérisation des matériaux.

Figure 1. Schéma d’une collision élastique binaire.

Figure 2. Spectre LEIS typique obtenu sur un catalyseur Ru-SiO2 avec un faisceau d’ions 4He+ d’énergie 1keV.

 Figure 3. Installation ultra vide et spectromètre couplant les techniques XPS et LEIS.

 Figure 4. Analyse LEIS d’un alliage métallique Pt50Ni50 (111) : composition atomique « couche par couche » (référence 4).

 Figure 5. Croissance d’un dépôt de palladium sur une surface de cuivre.

 Figure 6. Localisation de l’additif Ce dans la couche d’oxyde.

 Figure 7. Evolution de la quantité de cérium en profondeur dans les premières couches atomiques.

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