La microscopie thermo-élastique : principe et applications
La méthode de caractérisation sans contact via un microscope thermo-élastique est particulièrement adaptée à l’imagerie subsurfacique et à la caractérisation des couches minces, que ce soit d’un point de vue qualitatif ou quantitatif.
Figure 1. Principe du microscope combinant imagerie photothermique et thermo-élastique.
Figure 2. Photos obtenues sur un échantillon de Nickel polycristallin.
Figure 3. Images obtenues avec un échantillon de TiCN indenté (échantillon réalisé au LMS de Besançon). Taille des images : 511 x 27 microns. Fréquence de modulation : 8 kHz. a : optique ; b : phase thermique ; c : phase thermo-élastique.
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N°487 - Mars/avril 2024
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