La mesure du vide
Faire le vide est une chose, le mesurer en est une autre. Selon les process et applications, plusieurs moyens existent, comme les appareils de mesure des basses pressions, appelés aussi manomètres. Parmi eux, les mécano-électroniques et ceux à ionisation.
Figure 1 : Manomètre mécano-électronique.
Tableau 1 : Gamme de pressions couverte par les capteurs CR090 et CR091.
Figure 2 : Principe du thermocouple.
Figure 3 : Manomètres de Pirani.
Figure 4 : Schéma du montage en pont d’un vacumètre à conduction thermique non régulée (Thermotron).
+ : arrivée de tension continue.W : fil de mesure en tungstène. R1, R2, R3 : résistances du pont. P1, P2 : potentiomètres d’équilibrage. M : ampèremètre du pont S : bobine de cuivre pour la compensation des variations de température ambiante.
Figure 5 : Molécules de gaz ionisées.
Figure 6 : Principe du manomètre à ionisation à cathode froide.
Figure 7 : Exemple de manomètre Penning.
Tableau 2 : Facteurs de correction.
Figure 8 : Exemple de manomètre à cathode chaude.
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