Effets de l’ajout de Si sur la stabilité thermique des revêtements
La stabilité des revêtements en nanocomposants de carbone dur amorphe dopés au Si et des revêtements DLC non dopés quand ils sont recuits à des températures croissantes, de la RT jusqu’à 700°C, sous atmosphère protectrice (Ar/H2) et oxydante (N2/O2) diffère. La caractérisation vise à comprendre la transformation structurelle en comparant le processus de déshydrogénation et de graphitisation dans les deux types d’atmosphère.
Figure 1. Valeurs de dureté des revêtements DLC en fonction de la température de recuit. Atmosphères a) protectrices et b) oxydantes.
Figure 2. Évolution des spectres Raman pour le revêtement DLC non dopé en fonction de la température de recuit sous atmosphère protectrice.
Figure 3. Évolution des spectres XPS d’un revêtement contenant 24at.%Si pour les états (schéma du haut) C1s et (schéma du bas) Si2p dans un environnement protecteur.
Figure 4. La perte de poids isotherme pour les revêtements à base DLC en fonction de la teneur en Si dans un environnement d’air industriel.
Figure 5. Pic XPS du revêtement 24% Si à l’état Si2p dans un environnement oxydant.
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